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四氟化钛价格

四氟化钛

性状
四氟化钛为有吸湿性的白色粉末，相对密度2.798，熔点284℃，常压下284℃即升华。易溶于水并分解，不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。
所属类别
无机化工产品: 无机盐: Cp钼、钛、钨、钒、锆
用途与作用
用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。
合成工艺与制法
以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛，将50%的四氯化钛按化学计量比的量装入铂制或铜制的反应器中，滴加氟化氢使其反应，将反应物静置数小时，再徐徐加热，加热至200℃时蒸馏出含氟化氢的氯化氢，再继续升温至284℃以上使四氟化钛升华，经冷却即得到四氟化钛粉末产品，用密封的铜制容器贮存。其反应如下：$S001$S
参考质量标准
参考标准
指标名称指标
四氟化钛(TiF4)/%≥ 99


四氟化钛价格(试剂级)

更新日期产品编号品牌产品信息CAS号MDL号规格与纯度包装价格库存信息操作
2010/06/21 308430100 四氟化钛
Titanium(IV) fluoride 99% 		7783-63-3 10 GR 341元 详细
2010/06/21 308431000 四氟化钛
Titanium(IV) fluoride 99% 		7783-63-3 100 GR 2214元 详细
2010/05/25 11540 氟化钛(IV), 98%
Titanium(IV) fluoride, 98% 		7783-63-3 MFCD00042545 100g 1876元 详细
2010/05/25 11540 氟化钛(IV), 98%
Titanium(IV) fluoride, 98% 		7783-63-3 MFCD00042545 25g 636元 详细
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